Pompe à vide à vis de Roots pour la fabrication de semi-conducteurs

Pompe à vide à vis Roots pour la fabrication de semi-conducteurs

Le groupe de pompe à vide à vis Roots se compose d’une pompe à vide Roots et d’une pompe à vide à vis, qui sont connectées en série pour réaliser une fonction de pompage efficace. Il s’agit d’un équipement important pour la production industrielle et les expériences de recherche scientifique.

La pompe à vide à vis Roots combine les atouts des pompes Roots et des pompes à vis, offrant une solution de vide propre, efficace et sans huile pour les applications industrielles et de laboratoire exigeantes. Grâce à leur conception à joint d’étanchéité et à l’absence d’huile de lubrification, ces pompes conservent une grande pureté et des performances exceptionnelles tout au long de leur fonctionnement.

Principe de fonctionnement de la pompe à vide à vis Roots

Pompe à vide à vis (pré-étage): Fonctionne comme une pompe pré-étage, offrant des taux de pompage élevés et une faible pression d’échappement. La compression mécanique par l’intermédiaire d’espaces précis entre les vis assure un fonctionnement efficace, silencieux et peu vibrant.
Pompe à vide (principale/intermédiaire): Des rotors doubles à rotation synchrone transfèrent les gaz d’échappement de la chambre d’aspiration à la chambre d’échappement. L’étanchéité de l’espace empêche la contamination par l’huile, ce qui permet de maintenir un environnement de vide propre.
Fonctionnement en série: Les deux pompes fonctionnent en série, la pompe à vis améliorant le niveau de vide et la pompe Roots assurant une efficacité de pompage stable et continue.

Avantages en termes de performances

Economie d’énergie: Le rapport optimisé entre la vitesse de pompage et le degré de vide réduit la consommation d’énergie, surpassant les systèmes de vide traditionnels en termes d’efficacité énergétique.
Haute efficacité: L’efficacité de pompage est supérieure à 90 %, ce qui permet d’obtenir des niveaux de vide élevés tout en consommant peu d’énergie pour divers processus.
Protection de la sécurité: Un système de contrôle avancé avec démarrage/arrêt automatique, protection contre les surcharges, les surintensités et les coupures d’eau garantit une stabilité à long terme.
Conception compacte: L’empilage vertical ou la structure en échelle minimise l’encombrement, ce qui est idéal pour les usines et les laboratoires dont l’espace est limité.
Configuration flexible: Rapport de vitesse de pompage réglable entre les pompes (1:2 à 1:8) pour s’adapter aux diverses exigences de travail.
Performance anticorrosion: Les surfaces de débordement sont traitées ou fabriquées à partir de matériaux résistants à la corrosion, adaptés à l’extraction de gaz corrosifs et au fonctionnement dans des environnements difficiles.

Domaines d’application

Industrie chimique: Extraction de solvants organiques volatils, de gaz, et utilisation dans des réacteurs sous vide – largement utilisés dans les processus chimiques et pharmaceutiques.
Fabrication de semi-conducteurs: Prise en charge des processus de dépôt, de nettoyage et de gravure sous vide.
Industrie alimentaire: Essentiel pour l’emballage alimentaire, la déshydratation et les processus de séchage sous vide.
Industrie métallurgique: Extraction de gaz dans les fours métallurgiques et les laboratoires pour stabiliser les processus de fusion.
Laboratoire et recherche scientifique: Idéal pour les expériences sous vide et la récupération de gaz dans les milieux scientifiques.
Industrie électronique: Utilisé dans la fabrication de circuits intégrés, le revêtement sous vide d’écrans et d’autres processus de fabrication électronique.